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阿斯麥工廠(chǎng)發(fā)生火災(zāi) EUV光刻設(shè)備供需可能失衡

更新時(shí)間: 2022-01-04
閱讀量:3248

近日,荷蘭半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)龍頭阿斯麥(ASML Holding NV)宣布德國(guó)柏林廠(chǎng)有某一處失火,分析人士認(rèn)為,這意味著極紫外光(EUV)微影設(shè)備供需可能失衡。

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阿斯麥1月3日發(fā)布新聞稿宣布,柏林廠(chǎng)火勢(shì)已于昨晚?yè)錅?、幸無(wú)人員受傷。該公司稱(chēng),對(duì)外公布損失金額、意外是否影響今年產(chǎn)出的時(shí)機(jī)尚未成熟,要花上幾天進(jìn)行徹底調(diào)查及完整評(píng)估。只要評(píng)估出爐,ASML會(huì)立刻對(duì)外更新消息。

ASML柏林廠(chǎng)主要制造微影系統(tǒng)需要的零組件,當(dāng)中包括晶圓固定工作臺(tái)、晶圓夾具、光罩吸盤(pán)、反射鏡等。ASML在2020年并購(gòu)德商Berliner Glas。

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